Product classification
SiC MOS/IGBT雙脈沖測試
標準探針臺
客制化探針臺
系統集成測試儀器租·售·修
行業解決方案·探針臺系統
激光微加工修復探針臺系統
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晶圓級探針臺
產品簡介:
N系列探針臺是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺。該系列探針臺
采用高剛性顯微鏡龍門設計,結構穩定。顯微鏡平移臺可進行X-Y-Z方向
精密位移調節,顯微鏡放大倍率高,操作方便。同時支持多種功能的升級,
非常適合晶圓級的測試應用。該產品主要應用于集成電路/芯片/MEMS器
件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池等行業的測試及研究領域。在科研單位
和半導體工廠都得到了廣泛運用。
產品優勢:
顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質量光學成像質量。
卡盤同時具備快速和微調升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡。
可升級性強,最高可升級220G高頻,可集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統等。
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