Product classification
SiC MOS/IGBT雙脈沖測試
標準探針臺
客制化探針臺
系統集成測試儀器租·售·修
行業解決方案·探針臺系統
激光微加工修復探針臺系統
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產品特點:
雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試,用 于需要正面和背面同時扎針,以實現各種光/電性能測試需求的測試設備。該定制探針臺具有優良的機械系統,穩定的結構,符合人體工程學,以及多項升級功能??蓮V泛應用于集成電路、Wafer ,LED LCD、太陽能電。
產品優勢:
可同時完成DC和RF測試大手柄雙驅動,省時,省力,省心雙光路系統,上光路可升級加載光電流系統。
型號
技術參數
SH-6
SH-8
SH-12
臺體
整機尺寸(mm)
700mmL*700mmW*720mmH
750mmL*750mmW*720mmH
880mmL*880mmW*720mmH
重量
85kg
100kg
160kg
卡盤大小
6" ,360 度轉動, 可微調
8",360 度轉動,可微調
12",360 度轉動,可微調
卡盤行程和精度
6"*6",精度10um
8"*8",精度10um
12"*12",精度 10um
卡盤材質
高透射玻璃或者鏤空
固定方式
機械式壓片固定,尺寸可調
卡盤升降功能
Chuck可以上下快速升降5mm和微調升降6mm,精度1微米
可選附件
射頻校準臺;chuck 360度快速移動;探針座平臺升降;加熱等
針座平臺
類型
雙面點針平臺,單個平臺最多可放置8個DR/L-100探針座
材質
U型平臺,鍍鎳,與探針座之間具備更強吸附力,帶接地端子
正面光學系統
倍率范圍
16X~100X/60X~420X/20X~4000X
顯微鏡行程
具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2 英寸,精度1um
CCD 成像系統
200 萬/500 萬像素,幀率 60fps,帶拍照、錄像、測量功能
背面光學系統
顯微鏡類型
L型單筒顯微鏡
連續變倍比
0.75X~5X
40X~280X(可選高倍物鏡增加倍率)
200 萬/500 萬像素,幀率60fps,帶拍照、錄像、測量功能
探針座
DR/L-200m/V和DR/L-100m/V
X-Y-Z 行 程
12.5mm-12.5mm-12.5mm
機械精度
0.5um/0.7um
夾具
漏電精度
10pA/100fA
接口形式
香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等
選件
屏蔽箱/防震桌/射頻探針卡/光電流顯微鏡/大功率
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