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雙面點針探針臺

簡要描述:SH系列雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試,用 于需要正面和背面同時扎針,以實現各種光/電性能測試需求的測試設備。

  • 產品型號:SH系列
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-11-13
  • 訪  問  量:542

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SH系列雙面點針探針臺

產品特點:

雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試,用 于需要正面和背面同時扎針,以實現各種光/電性能測試需求的測試設備。該定制探針臺具有優良的機械系統,穩定的結構,符合人體工程學,以及多項升級功能??蓮V泛應用于集成電路、Wafer ,LED LCD、太陽能電。

產品優勢:

可同時完成DC和RF測試大手柄雙驅動,省時,省力,省心雙光路系統,上光路可升級加載光電流系統。

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SH系列雙面點針探針臺

 

        

型號

   技術參數    

SH-6

SH-8

SH-12

臺體

整機尺寸(mm)

700mmL*700mmW*720mmH

750mmL*750mmW*720mmH

880mmL*880mmW*720mmH

重量

85kg

100kg

160kg

卡盤大小

6" ,360 度轉動, 可微調

8",360 度轉動,可微調

12",360 度轉動,可微調

卡盤行程和精度

6"*6",精度10um

8"*8",精度10um

12"*12",精度 10um

卡盤材質

高透射玻璃或者鏤空

固定方式

機械式壓片固定,尺寸可調

卡盤升降功能

Chuck可以上下快速升降5mm和微調升降6mm,精度1微米

可選附件

射頻校準臺;chuck 360度快速移動;探針座平臺升降;加熱等

針座平臺

類型

雙面點針平臺,單個平臺最多可放置8個DR/L-100探針座

材質

U型平臺,鍍鎳,與探針座之間具備更強吸附力,帶接地端子

正面光學系統

倍率范圍

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2 英寸,精度1um

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素,幀率 60fps,帶拍照、錄像、測量功能

背面光學系統

顯微鏡類型

L型單筒顯微鏡

連續變倍比

0.75X~5X

倍率范圍

40X~280X(可選高倍物鏡增加倍率)

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素,幀率60fps,帶拍照、錄像、測量功能

探針座

類型

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V

X-Y-Z 行 程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

機械精度

0.5um/0.7um

夾具

漏電精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻探針卡/光電流顯微鏡/大功率


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