臺體

整機尺寸（mm）

700mmL*700mmW*720mmH

750mmL*750mmW*720mmH

880mmL*880mmW*720mmH

重量

85kg

100kg

160kg

卡盤大小

6" ,360 度轉動, 可微調

8"，360 度轉動，可微調

12"，360 度轉動，可微調

卡盤行程和精度

6"*6"，精度10um

8"*8"，精度10um

12"*12"，精度 10um

卡盤材質

高透射玻璃或者鏤空

固定方式

機械式壓片固定，尺寸可調

卡盤升降功能

Chuck可以上下快速升降5mm和微調升降6mm，精度1微米

可選附件

射頻校準臺；chuck 360度快速移動；探針座平臺升降；加熱等

針座平臺

類型

雙面點針平臺，單個平臺最多可放置8個DR/L-100探針座

材質

U型平臺，鍍鎳，與探針座之間具備更強吸附力，帶接地端子

正面光學系統

倍率范圍

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結構，XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2 英寸，精度1um

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素，幀率 60fps，帶拍照、錄像、測量功能

背面光學系統

顯微鏡類型

L型單筒顯微鏡

連續變倍比

0.75X~5X

倍率范圍

40X~280X（可選高倍物鏡增加倍率）

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素，幀率60fps，帶拍照、錄像、測量功能

探針座

類型

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V

X-Y-Z 行 程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

機械精度

0.5um/0.7um

夾具

漏電精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻探針卡/光電流顯微鏡/大功率