Product classification
高光譜測試系統
顯微分光膜厚儀
瞬態吸收系統
太陽能電池量子效率
太陽光模擬器IV系統
顯微光電流成像系統
探測器光響應度系統
光譜變溫附件探針臺
拉曼SERS增強試劑
熒光量子效率系統
顯微熒光系統
組合熒光系統
鏡頭透過率測試系統
漫反射率測試系統
反射、吸收率系統
成像亮度計
標準燈參考輻射定標
電致發光系統
常規發射光譜系統
共聚焦拉曼光譜儀
Relevant Articles
• 使用顯微光譜法在微小區域內通過絕.對反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。
• 可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了 即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件。
• 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
• 通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度,光學常數)
• 1點1秒高速測量
• 顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)
• 區域傳感器的安全機制
• 易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析
• 獨立測量頭對應各種inline客制化需求
• 支持各種自定義
測量項目:
• 絕.對反射率測量
• 多層膜解析
• 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)
OPTM 系列顯微分光膜厚儀
型號
OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波長范圍
230 ~ 800 nm
360 ~ 1100 nm
900 ~ 1600 nm
膜厚范圍
1nm ~ 35μm
7nm ~ 49μm
16nm ~ 92μm
測定時間
1秒 / 1點
光斑大小
10μm (小約5μm)
感光元件
CCD
InGaAs
光源規格
氘燈+鹵素燈
鹵素燈
電源規格
AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)
尺寸
555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體 部分)
重量
約 55kg(自動樣品臺規格之主體部分)
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